平行平晶
具有兩個(或一個)光學測量平面的正圓柱形或長方形的量規(guī)。光學測量平面是表面粗糙度數(shù)值和平面度誤差都極小的玻璃平面,它能夠產(chǎn)生光波干涉條紋(見激光測長技術(shù))。
簡介
平晶有平面平晶和平行平晶兩種。平面平晶用于測量高光潔表面的平面度誤差,為用平面平晶檢驗量塊測量面的平面度誤差。平行平晶的兩個光學測量平面是相互平行的,用于測量兩高光潔表面的平行度誤差,例如千分尺兩測量面的平行度誤差.平晶用光學玻璃或石英玻璃制造。圓柱形平面平晶的直徑通常為 45~150毫米。其光學測量平面的平面度誤差為:1級精度的為0.03~0.05微米;2級精度的為0.1微米。常見的長方形平面平晶的有效長度一般為200毫米。
國家標準
JJG28-2000
用途
平行平晶是用于以干涉法測量塊規(guī),以及檢驗塊規(guī)、量規(guī)、零件密封面、測量儀器及測 平晶
量工具量面的研合性和平面度的 常用工具。
適用于光學加工廠、廠礦企業(yè)計量室、精密加工車間、閥門密封面現(xiàn)場檢測使用,也適用于高等院校、科學研究等單位做平面度等檢測。
規(guī)格
1、平面平晶 YDF-1 標準外形尺寸 單位:mm
規(guī)格30 45 60 80 100 150 200 250
直徑30 45 60 80 100 150 200 250
高度15 15 20 20 25 30 40 45 平晶
特殊規(guī)格尺寸平面平晶,環(huán)形平面平晶,方形平面平晶可定做.
2、平面平晶制成兩種精度: 1級 和 2級
3、平面平晶工作面的平面度偏差允許值為:
直徑為 30至60mm 1級平晶 0.03μm
直徑為 30至60mm 2級平晶 0.1 μm
直徑為 80至150mm 1級平晶 0.05μm
直徑為 80至150mm 2級平晶 0.1 μm
更大尺寸平面平晶平面度偏差允許值,根據(jù)國家標準。
4、平面平晶工作面的局部偏差允許值為: 0.03μm
5、平面平晶測量工作應(yīng)在室溫2 0℃±3℃條件下保持數(shù)小時后進行。
測量方法
平晶是利用光波干涉現(xiàn)象測量平面度誤差的,故其測量方法稱為平晶干涉法(圖2),也稱技術(shù)光波干涉法。測量時,把平晶放在被測表面上,且與被測表面形成一個很小的楔角 θ,以單色光源照射時會產(chǎn)生干涉條紋。干涉條紋的位置與光線的入射角有關(guān)。如入射光線垂直于被測表面,且平晶與被測表面間的間隙很小,則由平晶測量面P反射的光線與被測表面反射的光線在測量面 P發(fā)生干涉而出現(xiàn)明或暗的干涉條紋。若在白光下,則出現(xiàn)彩色干涉條紋。如干涉條紋平直,相互平行,且分布均勻,則表示被測表面的平面度很好;如干涉條紋彎曲,則表示平面度不好。其誤差值為f= (v/ω)×(λ/2)
λ為光波波長,白光的平均波長為0.58μm,ν為干涉帶彎曲量,ω為干涉帶間距。
平行平晶相關(guān)產(chǎn)品
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