據(jù)杭州日報,近日,作為基地首批簽約孵化項(xiàng)目之一,全國首臺國產(chǎn)商業(yè)電子束光刻機(jī)“羲之”已進(jìn)入應(yīng)用測試,其精度比肩國際主流設(shè)備,標(biāo)志著量子芯片研發(fā)從此有了“中國刻刀”。在測試現(xiàn)場,浙大余杭量子研究院相關(guān)團(tuán)隊(duì)緊張忙碌著,一臺模樣酷似大型鋼柜的機(jī)器正在做應(yīng)用測試,電子顯示屏上不斷閃爍著實(shí)時參數(shù)�！斑@不是普通的機(jī)器,而是一支能在頭發(fā)絲上雕刻出整座城市地圖的‘納米神筆’！”團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)人告訴記者,依托省重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,這臺研究院自主研發(fā)的新一代100kV電子束光刻機(jī)“羲之”已正式投入市場。

　　“羲之”取名自書法家王羲之,“只不過我們的‘毛筆’是電子束,在芯片上刻寫電路。”研發(fā)團(tuán)隊(duì)相關(guān)負(fù)責(zé)人介紹,這臺設(shè)備專攻量子芯片、新型半導(dǎo)體研發(fā)的核心環(huán)節(jié),它通過高能電子束在硅基上“手寫”電路,精度達(dá)到0.6nm,線寬8nm,可靈活修改設(shè)計(jì)無須掩膜版,如同用納米級毛筆在芯片上精準(zhǔn)作畫,特別適合芯片研發(fā)初期的反復(fù)調(diào)試。

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