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全國首臺國產商業(yè)電子束光刻機在杭“出爐”

全國首臺國產商業(yè)電子束光刻機“羲之”已進入應用測試,其精度比肩國際主流設備,標志著量子芯片研發(fā)從此有了“中國刻刀”。
2025/8/14 10:40:02

ASML的2050及2100光刻機出口許可證已被部分撤銷

ASML在官網發(fā)布聲明稱,其NXT:2050i及NXT:2100i光刻系統(tǒng)的出口許可證已被荷蘭政府部分撤銷
2024/1/2 8:26:15

國產激光巨頭大族激光迎來突破 開始銷售光刻機

大族激光表示公司光刻機已經實現小批量生產。據悉,大族激光的光刻機為3-5μm分辨率,可以用于分立器件、LED生產上
2021/6/3 14:30:30

中芯國際稱7nm EUV光刻機問題已解決 研發(fā)步入正軌

中芯國際董事長周子學日前在韓國訪問,韓媒報道稱周子學表態(tài)已經解決了與ASML之間就光刻機供應存在的問題
2019/12/10 17:25:18
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